Oven Atmosfer Inert, juga disebut oven Anaerobik, dirancang untuk perlakuan panas menggunakan gas non-oksidasi seperti nitrogen dalam lingkungan tertutup, cocok untuk perlakuan panas dalam atmosfer dengan konsentrasi oksigen rendah.
Keterangan
Seri Oven Suasana Inert digunakan dalam manufaktur semikonduktor untuk pemanggangan awal wafer silikon, galium arsenida, litium niobat, kaca sebelum pelapisan PR, pemanggangan film keras setelah pelapisan PR, dan pemanggangan suhu tinggi setelah pengembangan; Ini juga cocok untuk departemen produksi dan penelitian ilmiah, seperti layar kristal cair elektronik, LCD, CMOS, IS dan laboratorium; itu juga dapat digunakan untuk pengeringan, pemrosesan panas, penuaan dan pengujian suhu tinggi lainnya untuk barang-barang yang tidak mudah menguap, tidak mudah terbakar, dan tidak mudah meledak.
Parameter Utama
►Parameter teknis
Kapasitas: Disesuaikan sesuai produk
Kisaran Suhu: Sekitar+50°C ~ 250°C
Kandungan Oksigen: ≤50ppm
Keseragaman Suhu: ±2,5%
Tingkat Peningkatan: Dapat Dikontrol
Saluran Masuk Nitrogen: Φ8
Aliran nitrogen: 0-240L/menit * 2 saluran
►Struktur
. Oven bagian dalam: Terbuat dari baja tahan karat dan dilas mulus dengan gas argon.
. Tertutup rapat: Ruangan disegel untuk mengurangi kadar oksigen.
. Struktur pemasukan udara: Memungkinkan gas non-oksidasi mengisi ruangan.
. Penganalisis O2: Menyesuaikan kadar oksigen secara tepat antara 0,5~ 21%
► Sistem kontrol suhu
Pengontrol suhu JAPAN RKC yang cerdas, program dan pengaturan nilai tetap, penyetelan otomatis AT, koreksi offset, dan retensi daya mati.
► Konveksi udara paksa
Saluran udara yang dipatenkan pada sistem sirkulasi udara panas dapat secara otomatis mengatur keseragaman suhu.
Fitur untuk oven anaerobik (Inert).
► Studio baja tahan karat yang tertutup rapat untuk mencegah masuknya atmosfer luar
► Gunakan gas inert nitrogen untuk perlakuan panas anaerobik
► Pengukur aliran dan pengukur tekanan dilengkapi
► Perangkat keamanan multi-perlindungan
Pilihan
► PLC+7” pengontrol yang dapat diprogram
► Alarm lampu berkedip tiga warna
► Pembatas suhu berlebih
► Perangkat keselamatan manual
Mengapa memilih Oven Suasana Inert?
Saat ini, material kabel di sirkuit telah beralih dari aluminium ke tembaga dengan resistivitas lebih rendah. Oleh karena itu, ketika dipanaskan dalam oven pengering normal, bagian tembaga dapat teroksidasi sehingga menyebabkan cacat. Selain itu, penuaan 250 derajat C juga dilakukan untuk memeriksa apakah data yang tertulis di memori flash telah terhapus karena migrasi listrik, dan apakah bagian benjolan teroksidasi, sehingga kandungan oksigen harus dikurangi hingga <100ppm. Oven anaerobik ini dikembangkan untuk memenuhi kebutuhan ini.
Aplikasi
Oven Suasana Inert terutama digunakan untuk pengawetan lem BPO/lem PI/lem BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, komponen elektronik presisi tinggi, dan bahan lainnya di lingkungan oksigen rendah untuk pengujian pengeringan dan penuaan .
